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优点
1. 进气口导热能力高
- 即使在高真空度环境下仍保持高排气量
2. 蒸气耐受性高
- 透过气体平衡阀，试剂和水蒸气的耐受性可达排气容量之 10% ，令操作更宁静，最终真空效果更理想
3. 防腐蚀设计
- 内壁主要经机械研磨及等离子处理，关机时油封装置能有效防止腐蚀性气体进入泵内
4. 新式润滑设计、较大油量
- 令操作宁静，增加泵油寿命
5. 设计坚固
- 体积轻巧，方便维护
|
型号 |
流量 50/60Hz |
电机速度 |
重量 |
最终真空度 (局部 ): |
最终真空度 (整体 ): |
最终真空度 (局部 ) 平衡气阀打开 : |
外型尺寸 |
|
RZ2.5 |
2.3 /2.8 |
0.18 |
11.4 |
4x10-4mbar |
2x10-3mbar |
1x10-2mbar |
308x125x190 |
|
RZ6 |
5.7 /6.8 |
0.3 |
16.4 |
4x10-4mbar |
2x10-3mbar |
1x10-2mbar |
370x142x207 |
|
RZ9 |
8.9/10.2 |
0.55 |
22.1 |
4x10-4mbar |
2x10-3mbar |
1x10-2mbar |
505x152x232 |
|
RZ16 |
16.6/19.1 |
0.55 |
29 |
4x10-4mbar |
2x10-3mbar |
1x10-2mbar |
545x152x232 |
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